sit-200硅片厚度测量仪 硅片厚度测量仪（sit-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。 sit-200硅片厚度测量仪产品特点： ? 全光学，非接触硅片厚度测试 ? 高动态范围测量粗糙表面 ? 湿法刻蚀过程中实时测量 高灵敏度 高精度 快速测量 远程控制 产品参数： 测量目标：硅片 测量厚度：10-500μm 光源：1515-1585nm扫描 功率：0.6mw，class1 指示光源：红光，class1m 测量时间：20ms 重复性：0.1μm 输出监控：干扰信号（电学） pc接口：网口 供电：100-240v，50/60hz 尺寸：364 x 147 x 391mm 重量：9kg sit-200硅片厚度测量仪